超低温机组是由压缩机、冷凝器、蒸发器、干燥过滤器、膨胀节流阀这五大部分串联而成，低温冷冻机组的维护保养对于设备的稳定运行起着关键作用，因此必须建立完善的维护保养制度。
超低温机组是检修过程及现象如下：
(1)超低温冷冻机组停运后，开始用制冷剂回收装置回收制冷剂；
(2)制冷剂回收完毕后，开始打开水室端盖，清理循环水系统，更换有过滤芯，安全阀校验；
(3)检修安装完成后，用真空泵对系统抽真空并保压24小时，密闭性良好；
(4)充注制冷剂过程中，发现制冷剂不能被吸入，经确认系统漏水。对以上检修过程分析后可以发现：从冷冻机停运到清扫水室、更换组件，以及整个安装过程都没有出现异常，这从“用真空泵对系统抽真空并保压24小时，密闭性良好”可以得出结论。
因此，可以确定，该冷冻机系统进水出现在充注制冷剂的过程中。充注制冷剂时，冷却水必须正常循环，并且在充注制冷剂时，机内压力为负压，加剧了制冷剂的汽化。
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